Tetrafluoride de carbono CAS 75-73-0
Nombre del producto: tetrafluoruro de carbono tetrafluoride gas tetrafluorometano perfluorocarbon
Grado del producto: grado analítico
Pureza del producto: 99.999%
Especificación de embalaje: 40L
Nombre chino: tetrafluoruro de carbono
Alias chino: tetrafluorometano
Cas: 75-73-0
Einecs: 200-896-5
Fórmula molecular: CF4
Peso molecular: 88
Propiedades físicas y químicas: - Punto de fusión: -184 grado
El tetrafluoruro de carbono es el gas de grabado de vela de plasma más ampliamente utilizado en la industria de microelectrónica . Es una mezcla de gas de alta pureza y gas de tetrafluoruro de carbono de alta pureza con oxígeno de alta pureza .
1. Se puede usar ampliamente en el grabado de vela de silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio, vidrio de silicio de fósforo y materiales de película delgada de tungsteno . Para los sistemas de dióxido de silicio y silicio, cuando se usa cf {}}}} ion ión al iccherio, a los dos, el síndico de los gases de los gases de los dos, al usar los dos tas de los gases de los gases, a los dos tas de los gases, a los dos tas de los gases, a los dos tas de los gases, a los dos tas de los gases, a los dos, al usar los dos de los gases de los gases. Se puede obtener selectividad de 45: 1, lo cual es muy útil al grabar películas de dióxido de silicio en puertas de polisilicio .
2. También se usa ampliamente en la limpieza de superficie electrónica del dispositivo, producción de células solares, tecnología láser, aislamiento de fase gaseosa, refrigeración a baja temperatura,
Agente de detección de fugas, control de la actitud del cohete espacial y agente de descontaminación en la producción de circuitos impresos .
3. Debido a su estabilidad química extremadamente fuerte, CF4 también se puede utilizar en la fundición de metal y las industrias plásticas .
4. El tetrafluoruro de carbono tiene una buena solubilidad de oxígeno, por lo que los científicos lo utilizan para reemplazar el aire comprimido ordinario en experimentos de buceo ultra profundos . Se ha utilizado con éxito en ratones, y los ratones aún pueden escapar de manera segura a una profundidad de 275 a 366 metros .
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