El tetrafluoruro de carbono es un gas inerte incoloro, inodoro y no-inflamable. Debido a su alta estabilidad química y térmica, tiene aplicaciones cruciales en la industria, particularmente en campos de alta-tecnología.
El mayor problema del tetrafluoruro de carbono es su extremadamente fuerte efecto invernadero. Su potencial de calentamiento global (PCA) es 7.350 veces mayor que el del dióxido de carbono (calculado en 100 años) y puede permanecer estable en la atmósfera hasta 50.000 años. Por lo tanto, su producción y uso están estrictamente regulados, requiriendo un amplio reciclaje y tratamiento; Está estrictamente prohibida la liberación directa a la atmósfera.
El grabado y la limpieza con plasma son las aplicaciones más importantes y extendidas del tetrafluoruro de carbono, especialmente en los procesos de fabricación de semiconductores y sistemas microelectromecánicos (MEMS). El tetrafluoruro de carbono se utilizó originalmente como refrigerante, denominado R-14. En ambientes inertes, el tetrafluoruro de carbono actúa como gas protector y aislante de gas. Debido a su inercia química, su no-toxicidad y su facilidad de detección, el tetrafluoruro de carbono se utiliza como gas trazador en el monitoreo ambiental y la investigación científica. El tetrafluoruro de carbono también se utiliza como gas láser y en la producción de materiales de embalaje flexibles de baja temperatura.
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